先进光刻工艺Track设备中的传热传质问题

报告题目：先进光刻工艺Track设备中的传热传质问题

报告人：陈兴隆博士

报告人单位：沈阳芯源微电子设备有限公司

报告时间：2018年11月29日周四15:00-17:00

报告地点：李兆基科技大楼B-518会议室

邀请人：徐海涛教授